离子风棒-001-5819
001-5819直流离子棒可用在型洁净室内,可通过 001-5800控制台和软件操控多条连接的离子棒,提供高离子输出量,能快速中和晶圆或工作台上的静电,001-5819直流空间离子棒的设计是为了为环境系统、层流柜和工作台的静电控制,可提供多种长度的离子棒,在层流风的使用下,中和静电,采用脉冲直流和连续直流技术,提供均衡的静电控制,与室内离子系统一样,001-5819直流离子棒的离子平衡和输出功率都可调整,调整方法为软件和遥控器。 001-5819直流离子棒可提供多种静电针(钨合金,钛合金 ,单晶硅针),多种材质静电针可适用多种环境,单晶硅材质静电针可在生产晶圆时采用,不选配单晶硅静电针的情况下可选择钨合金与钛合金静电针。 001-5819直流离子棒在使用软件或遥控器控制时,都可提供提供全面的离子棒控制,可设置工作模式调整:脉冲直流模式,普通直流模式,待机),正负电离同步开关时间,输出功率调整,只消除正电,只消除负电,高压异常报警,清洁周期报警等功能。在近距离30厘米以内建议用普通直流模式,在远距离下使用可用脉冲直流模式。